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那些年追過的事業

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制造方正第一芯

發布時間2013-11-25

20066月,我以普通光刻工藝工程師的職務加入方正微電子,當時候的我除了電腦和書,幾乎一無所有,兩年工作攢下的所有積蓄只夠還清大學四年期間的借貸。

2006年夏天,公司還在板房辦公和食宿,新建的廠房和宿舍正處于后期裝修,樓外是堆積得很高的黃泥,那年的雨水很多,我們經常提著拖鞋、撈起褲腿上班;深夜的我很擔心臺風會把我們所住的板房刮走,更惱火的是風聲太大、而且蚊子很多,影響了我睡覺前思考問題。

廠房竣工、動力開啟、FAB環境達標、設備移入和配管之后,進入設備調試和工藝搭建階段,對于從那個年代走過來的方正微電子人來說,印象最深刻的事情莫過于制備“方正第一芯”樣片。

“方正第一芯”樣片的制備,主要經歷制版、薄膜、光刻、腐蝕幾個工藝環節,其中光刻工藝最繁瑣,因為光刻工藝要經歷涂膠、曝光、顯影好幾個工藝步驟,在當時候那種動力設施和設備剛剛開始運轉、故障頻出的狀況下,每多一個工藝步驟就表示多一份不確定因素。為了按時完成目標,我們必須在現有的條件下仍然盡可能保證整個實驗線的完整性,否則都有可能因為某一個環節的擱淺而導致整個目標無法完成;為了爭分奪秒,我們做了很多非常規的事情,比如我們從鄰近的村子里買了兩個塑料桶,拿到宿舍里里外外洗三遍,然后再拿到FAB洗三遍,臨時充當顯影槽,我經常左手提著裝有顯影液的“顯影槽”,右手拿著裝有晶圓(wafer)的片架(cassette)在“顯影槽”里做顯影動作,一邊提著、一邊急急忙忙從光刻區送到刻蝕區去做下一步的腐蝕,全然不顧顯影液濺到褲腿上的危害(作者按:顯影液是濃度為2.38%的四甲基氫氧化銨溶液,對皮膚有腐蝕性,請讀者注意安全)。

經過多次努力,終于在2006年中秋自助餐的時候,我們拿出了第一片樣品,公司上下一片沸騰,那頓飯吃得特別香;然后,開始制備正式的樣片,當時候光刻機很不穩定,曝光的時候經常走走停停,為了趕制最后一批樣片,正逢是半夜,我必須盯著光刻機,由于連續熬夜、擔心自己會在FAB里睡著了,我是每次在FAB里盯5分鐘,然后又跑到公司廣場散步15分鐘,如此往返,終于完成最后一批樣片。10月中旬,公司舉辦“投產慶典”,鑲嵌在水晶里的“方正第一芯”樣片展現在眾人面前,非常亮眼,當時的我特別感動,就似乎看到自己的價值得到了展現;2006年底,我獲得年度優秀員工“進取芯星獎”表彰。

20066月至2007年,我經歷了公司發展歷程上的設備移入、樣片制備、設備調試與模塊工藝搭建、產品通線與小批量生產等幾件大事,公司逐步成長,我本人也隨著公司的發展而逐步提升,我不再是孤傲、片面的我,無論是對于工作中所遇到的技術和管理問題、或是個人遇到的問題,我都有了更全面的思維和考量。出于個人職業規劃,2007年底,我向公司申請從光刻部調職到產品開發處。

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